AOI基本原理：將掃描圖像與標準圖像進行邏輯比較，從而產生缺點信息。掃描圖像是AOI利用光學原理，將三只燈泡(EKE?21VDC?150W)產生的三束光(一個直射光,兩個45o的散射光)通過光纖照射到檢測板上，再使用光學部件收集反射光形成影像。標準圖像(參考資料)是將CAM資料經CRG(Camtek?Reference?Generator,參考資料生成器)處理后傳到AOI或CRP(Camtek?Reference?Processor,參考資料處理器)形成的。